Radni tok strojeva za optički premaz obično uključuje sljedeće glavne korake: prethodna obrada, premaz, nadzor filma i podešavanje, hlađenje i uklanjanje. Specifični postupak može se razlikovati ovisno o vrsti opreme (poput stroja za isparavanje, stroj za raspršivanje, itd.) I procesa premaza (poput jednoslojnog filma, višeslojnog filma itd.), Ali općenito, proces optičkog premaza je sljedeći:
1. faza pripreme
Čišćenje i priprema optičkih komponenti:
Prije premaza, optičke komponente (poput leća, filtera, optičkog stakla itd.) Potrebno je temeljito očistiti. Ovaj je korak osnova za osiguranje kvalitete premaza. Uobičajene metode čišćenja uključuju ultrazvučno čišćenje, čišćenje kiseline, čišćenje pare itd.
Očišćene optičke komponente obično se postavljaju na rotirajući uređaj ili stezanje sustava stroja za oblaganje kako bi se osiguralo da mogu ostati stabilni tijekom postupka oblaganja.
Prethodna obrada vakuumske komore:
Prije postavljanja optičkih komponenti u stroj za oblaganje, komoru za oblaganje treba evakuirati u određeni stupanj vakuuma. Vakuumsko okruženje može učinkovito ukloniti nečistoće, kisik i vodenu paru u zraku, spriječiti ih da reagiraju s materijalom za oblaganje i osigura čistoću i kvalitetu filma.
Obično, komora za oblaganje mora dostići visoki vakuum (10 ⁻⁵ do 10 ° PA) ili srednji vakuum (10⁻³ do 10⁻⁴ PA).
2. Postupak premaza
Pokrenite izvor premaza:
Izvor premaza obično prihvaća izvor isparavanja ili ispljuvanje izvora. Različiti izvori premaza odabrat će se u skladu s različitim postupcima i materijalima premaza.
Izvor isparavanja: Upotrijebite opremu za grijanje (poput isparivača elektronske zrake ili zagrijavanja otpora) za zagrijavanje materijala za oblaganje u stanje isparavanja, tako da njegove molekule ili atomi isparuju i talože na površini optičkog elementa u vakuumu.
Izvor raspršivanja: Primjenom visokog napona kako bi se ciljni materijal sudario s ionima, atomi ili molekule ciljnog materijala se isprljaju, a ti atomi ili molekule taloženi su na površini optičkog elementa kako bi formirali tanki film.
Tanki filmski materijal:
U vakuumskom okruženju materijal za oblaganje isparava ili ispljuva iz izvora (poput izvora isparavanja ili ciljanog materijala) i postupno naslanja na površinu optičkog elementa.
Stopa taloženja i debljina filma potrebno je precizno kontrolirati kako bi se osiguralo da je filmski sloj ujednačen, kontinuiran i zadovoljava dizajnerske zahtjeve. Parametri tijekom postupka taloženja (kao što su struja, protok plina, temperatura itd.) Izravno će utjecati na kvalitetu filma.
Nadgledanje tankog filma i kontrola debljine:
Tijekom postupka premaza, debljina i kvaliteta filma obično se prate u stvarnom vremenu. Najčešće korišteni alati za praćenje uključuju senzore kao što je ** kvarcna kristalna mikrobalancija (QCM) **, koji mogu točno otkriti brzinu taloženja i debljinu filma.
Na temelju ovih podataka o praćenju, sustav može automatski prilagoditi parametre poput snage izvora premaza, protoka plina ili brzine rotacije komponente kako bi se održala dosljednost i ujednačenost filma.
Višeslojni film (ako je potrebno):
Za optičke komponente koje zahtijevaju višeslojnu strukturu filma, postupak premaza obično se provodi sloj prema sloju. Nakon što se svaki sloj filma odloži, sustav će izvesti ponovljeno otkrivanje i podešavanje debljine filma kako bi se osiguralo da kvaliteta svakog sloja ispunjava dizajnerske zahtjeve.
Ovaj postupak zahtijeva preciznu kontrolu debljine i vrste materijala svakog sloja kako bi se osiguralo da svaki sloj može funkcionirati unutar određenog raspona valne duljine, poput refleksije, prijenosa ili smetnji.
3. Hlađenje i uklanjanje
Hlađenje:
Nakon premaza, potrebno je ohladiti optičke komponente i stroj za oblaganje. Budući da oprema i komponente mogu postati vruće tijekom postupka premaza, potrebno ih je ohladiti do sobne temperature kroz rashladni sustav (poput rashladne vode ili protoka zraka) kako bi se spriječilo toplinska oštećenja.
U nekim postupcima premaza s visokim temperaturama, hlađenje ne samo da štiti optičke komponente, već također omogućuje filmu da postigne optimalnu adheziju i stabilnost.
Uklanjanje optičkih komponenti:
Nakon hlađenja, optičke komponente mogu se ukloniti iz stroja za oblaganje.
Prije uklanjanja potrebno je provjeriti učinak premaza, uključujući ujednačenost, debljinu, prianjanje itd. Filmskog sloja kako bi se osiguralo da kvaliteta premaza ispuni zahtjeve.
4. Poslije tretmana (neobavezno)
Očvršćivanje filma:
Ponekad je film nakon premaza potrebno učvrstiti kako bi se poboljšala otpornost na ogrebotine i izdržljivost filma. To se obično radi toplinskim obradom ili ultraljubičastom zračenjem.
Čišćenje filma:
Da bi se uklonili zagađivači, masni ili druge nečistoće na površini filma, možda će biti potrebno lagano čišćenje, poput pranja, ultrazvučnog tretmana itd.
5. Pregled kvalitete i testiranje
Ispitivanje optičkih performansi: Nakon prevlačenja, na optičkim komponentama provodi se niz testova performansi, uključujući propusnost, reflektivnost, uniformnost filma itd. Kako bi se osiguralo da ispunjavaju tehničke zahtjeve.
Ispitivanje adhezije: Provjerite je li adhezija između filma i supstrata čvrsto testom testa ili ogrebotina.
Ispitivanje stabilnosti okoliša: Ponekad su potrebni testovi stabilnosti u okolišnim uvjetima kao što su temperatura, vlaga i ultraljubičaste zrake kako bi se osigurala pouzdanost sloja premaza u stvarnim primjenama.
