1. Vakuumska komora
Vakuumska komora je temeljni dio stroja za vakuum. Njegova glavna funkcija je stvaranje vakuumskog okruženja i održavanje postupka premaza u stanju vakuuma. Vakuumska komora obično je izrađena od materijala od nehrđajućeg čelika ili aluminijske legure, s visokim vakuumskim brtvljenjem i otpornošću na koroziju.
2. Sustav pumpe
Sustav pumpe jedna je od ključnih komponenti strojeva za vakuumski premaz. Uglavnom je odgovoran za vađenje plina u vakuumskoj komori kako bi stupanj vakuuma dostigao potrebnu stupanj. Sustav crpke obično se sastoji od molekularnih pumpi, mehaničkih pumpi i difuzijskih pumpi. Različite kombinacije crpki mogu postići različite vakuumske stupnjeve i brzine pumpanja.
3. Uređaj za stezanje supstrata
Uređaj za stezanje supstrata još je jedna važna komponenta stroja za vakuum. Koristi se za popravljanje materijala supstrata koji će biti obloženi i kontroliranje njegovog položaja i putanja pokreta. Uređaj za stezanje supstrata obično se sastoji od rotirajuće tablice, mehanizma za podizanje i stezanja supstrata. Različite stezaljke mogu se prilagoditi supstratima različitih oblika i veličina.
4. Sustav grijanja
Sustav grijanja nužna je komponenta u stroju za vakuumski premaz. Može zagrijati supstrat i materijal za oblaganje kako bi se promovirao stvaranje premaza i poboljšao njegovu kvalitetu. Sustav grijanja obično se provodi žicom otpora, elektromagnetskim grijanjem, indukcijskim grijanjem i drugim metodama.
5. Izvor premaza
Izvor premaza posljednja je komponenta u stroju za vakuum. Koristi se za pružanje materijala koji treba obložiti, obično uključujući metale, keramiku, silicij i druge materijale. Izvor premaza može odlagati materijal na supstrat elektronskim snopom, isparavanjem, raspršivanjem i drugim metodama za oblikovanje potrebnog premaza.
Sažetak: Stroj za vakuumski premaz uređaj je koji se koristi za proizvodnju visokokvalitetnih premaza, u kojima su vakuumska komora, sustav pumpe, uređaj za stezanje supstrata, sustav grijanja i izvor premaza glavne komponente. Ove komponente rade zajedno na dovršenju postupka pripreme premaza.
