Nekoliko uobičajenih izvora iona u postupku oblaganja vakuumskih strojeva za prevlačenje

Kako bi se poboljšala adhezija, sila vezanja i filmska struktura obrazaca, mnogi strojevi za vakuumski premaz opremljeni su ionskim izvorima tijekom postupka oblaganja.
Iako postoje mnoge vrste izvora iona, njihova svrha nije ništa drugo nego internetsko čišćenje, poboljšavajući raspodjelu energije i modulaciju posađene površine kako bi se povećala energija reakcijskog plina. Izvor iona može uvelike poboljšati snagu vezanja između filma i supstrata, a također može poboljšati tvrdoću i otpornost na samog filma. Ako je sloj otpornog na habanje alata za elektroplaciju uglavnom deblji, a jednolikost debljine filma nije visoka, može se upotrijebiti ionski izvor s većom ionskom strujom i višom razinom energije, poput izvora iona dvorane ili izvora anodnog iona.
Princip izvora iona anodnog sloja sličan je onom izvora Hall iona. Vrusni (pravokutni ili kružni) uski prorez dodaje se s pojačanim magnetskim poljem, a radni plin je ioniziran i emitira se u radni komad pod djelovanjem anode. Izvor iona anodnog sloja može se napraviti vrlo velikim i dugim, što je posebno prikladno za elektroeletiranje velikih dijelova poput arhitektonskog stakla. Ionska struja izvora iona anodnog sloja također je velika. Međutim, protok iona je različit, a raspodjela razine energije preširoka. Općenito je pogodan za velike obrade, staklo, otporne na habanje i ukrasne radne dijelove. Ali nema mnogo aplikacija u naprednim optičkim premazima.
Ova vakuumska koater opremljena je izvorom iona Hall, gdje anoda i snažno aksijalno magnetsko polje zajedno rade na ionizaciji procesnog plina. Snažna neravnoteža aksijalnog magnetskog polja odvaja plinske ione kako bi tvorila ionsku zraku. Budući da je aksijalno magnetsko polje prejako, ion iona Hall Ion -a treba nadopuniti elektronima za neutralizaciju protoka iona. Uobičajeni izvor neutralizacije je volfram -filament (katoda).