Stroj za vakumiranjeuglavnom se odnosi na vrstu premaza koju je potrebno izvesti pod relativno visokim stupnjem vakuuma, uključujući mnoge vrste, uključujući vakuumsko isparavanje iona, magnetronsko raspršivanje, MBE epitaksiju molekularnim snopom, taloženje PLD laserskim raspršivanjem, itd. Glavna ideja je podijeliti ga u dvije vrste: isparavanje i raspršivanje.
Proces gradijenta boje općenito koristi opremu za nanošenje premaza magnetronskim raspršivanjem. Trenutno, kućišta gradijentnih boja mnogih modela mobilnih telefona kao što su Huawei i Lenovo koriste PVD vakuumski gradijentni postupak premazivanja.
Magnetronsko raspršivanje je vrsta fizičkog taloženja iz pare (Physical Vapor Deposition, PVD). Opća metoda raspršivanja može se koristiti za pripremu metala, poluvodiča, izolatora i drugih materijala, a ima prednosti jednostavne opreme, lakog upravljanja, velike površine premaza i jakog prianjanja.
Metoda magnetronskog raspršivanja razvijena 1970-ih postigla je veliku brzinu, nisku temperaturu i mala oštećenja. Budući da se -raspršivanje velikom brzinom izvodi pod niskim tlakom, stopa ionizacije plina mora se učinkovito povećati. Magnetronsko raspršivanje uvodi magnetsko polje na površinu ciljane katode i koristi magnetsko polje za ograničavanje nabijenih čestica kako bi se povećala gustoća plazme i povećala brzina raspršivanja.
Stroj za vakuumsko premazivanje magnetronskim raspršivanjem najčešće je korištena oprema za premazivanje postojećih proizvoda u uvjetima vakuuma. Potpuni stroj za vakuumsko premazivanje magnetronskim raspršivanjem sastoji se od više dijelova sustava. Svaki sustav može izvršiti različite funkcije kako bi se postigao konačni premaz visoke-kvalitete. Komponente premaza magnetronskim raspršivanjem uključuju vakuumsku komoru, mehaničku pumpu, vakuumski ispitni sustav, uljnu difuzijsku pumpu, vakuumski sustav, kondenzacijsku pumpu, sustav za kontrolu stvaranja filma itd.
Glavno tijelo stroja za vakuumsko premazivanje magnetronskim raspršivanjem je vakuumska komora. Veličina vakuumske komore određena je prerađenim proizvodima. Veličina premaza magnetronskog raspršivanja može se prilagoditi. Komora je općenito izrađena od nehrđajućeg čelika i mora biti čvrsta, izdržljiva i nehrđajuća-. Vakuumska komora za magnetronsko raspršivanje ima mnogo spojnih ventila za spajanje raznih pomoćnih pumpi.
Sustav za kontrolu formiranja filma premaza magnetronskim raspršivanjem može usvojiti različite metode, kao što je fiksno vrijeme nanošenja, vizualni pregled, ekstremno praćenje i praćenje kristalnih vibracija. Strojevi za vakuumsko premazivanje i metode premazivanja pomoću strojeva za vakuumsko premazivanje također se dijele na različite procese. Oni koji se obično koriste uključuju premaz ionskim isparavanjem i premaz magnetronskim raspršivanjem. Sloj filma presvučen magnetronskim raspršivanjem ima jaku adheziju i visoku čistoću, te može prskati različite materijale različitih sastava u isto vrijeme.
