Mnogi kupci su zbunjeni pri kupnjistrojevi za vakumiranje. Oni znaju koju vrstu i model stroja za premazivanje trebaju, ali ne mogu odrediti koje standarde stroj mora zadovoljiti da bi se smatrao dobrom i visoko-kvalitetom. Ova zbunjenost ih navodi da idu mnogim zaobilaznim putevima. U nastavku će Puyuan Vacuum pružiti detaljan uvod u osnovne tehničke zahtjeve koje mora zadovoljiti stroj za vakuumsko premazivanje.
Vakuumsko isparavanje, katodna ionizacija, magnetronsko raspršivanje:
1.Struktura vakuumskih cjevovoda i statičkih komponenti za brtvljenje u opremi treba biti u skladu s GB/T6070.
2.Mjerači za mjerenje vakuuma trebali bi biti postavljeni na cjevovode za niski{0}}vakuum i visoki-vakuum te na komoru za vakuumsko oblaganje kako bi se izmjerila razina vakuuma na svakoj lokaciji. Ako se otkriju smetnje od električnog polja, na mjernom priključku treba instalirati uređaj za zaštitu od električnog polja.
3.Ako je glavna pumpa koja se koristi u opremi za PVD premaz difuzijska pumpa, na ulaznoj strani pumpe treba postaviti zamku za uljne pare.
4. Komora za premazivanje opreme za vakuumsko premazivanje treba biti opremljena prozorom za promatranje i pregradnim uređajem. Prozor za promatranje trebao bi omogućiti promatranje radnog statusa izvora taloženja i drugih kritičnih komponenti.
5. Dizajn izvora za taloženje ionskim slojem trebao bi maksimizirati stopu ionizacije tijekom procesa premazivanja, poboljšati stopu iskorištenja materijala za premaz, racionalno uskladiti snagu izvora taloženja i racionalno rasporediti položaj izvora taloženja unutar vakuumske komore.
6.Uređaj za grijanje treba racionalno rasporediti; općenito, raspored strukture grijača trebao bi osigurati ravnomjeran porast temperature obratka koji se oblaže.
7. Držač izratka treba biti izoliran od vakuumske komore, a dizajn držača izratka treba osigurati da sloj filma izratka bude ujednačen.
8. Strojevi za ionsko vakuumsko premazivanje općenito bi trebali imati negativni prednapon obratka i napajanje ionskim bombardiranjem. Napajanje ionskim bombardiranjem mora imati uređaj za suzbijanje abnormalnog pražnjenja i održavanje stabilnog rada.
9.Vrijednosti izolacijskog otpora između različitih dijelova vakuumske komore povezanih s različitim potencijalima moraju biti u skladu s 4.4.6 GB/T11164-1999.
10. Ostale mjere opreza
(1) Temperatura okoline: 10-30 stupnjeva
(2) Relativna vlažnost: ne veća od 75%
(3) Ulazna temperatura rashladne vode: ne viša od 25 stupnjeva
(4) Kakvoća rashladne vode: komunalna voda iz slavine ili voda ekvivalentne kvalitete.
(5) Napajanje: 380V tro-fazno 50Hz ili 220V jedno-fazno 50Hz (ovisno o korištenim električnim uređajima); raspon fluktuacije napona: 342-399V ili 198-231V; opseg fluktuacije frekvencije: 49-51Hz.
(6) Tlak, temperatura i potrošnja komprimiranog zraka, tekućeg dušika, hladne vode, tople vode itd., koje zahtijeva oprema, trebaju biti navedeni u priručniku s uputama za proizvod.
(7) Okruženje opreme mora biti čisto, a zrak ne smije sadržavati prašinu ili plinove koji bi mogli uzrokovati koroziju električnih komponenti ili drugih metalnih dijelova ili vodljivost između metala.
