Radni koraci stroj za optički premaz uključuju više veza. Slijede detaljni radni koraci:
1. Preliminarna priprema
Provjerite status stroja:
Provjerite je li stroj za optički premaz u normalnom radnom stanju, uključujući jesu li napajanje, izvor plina, sustav za hlađenje itd. Normalni.
Uklonite krhotine unutar i oko stroja, posebno ostataka materijala za isparavanje, kako biste osigurali čisto radno okruženje.
Priprema materijala:
Odaberite visokokvalitetne optičke leće ili druge materijale koje je potrebno obložiti.
Pripremite materijale za isparavanje, poput metalnih ciljeva, kako biste osigurali da čistoća i kvaliteta materijala ispunjavaju zahtjeve.
Priprema opreme:
Pripremite potrebnu opremu za oblaganje kao što su mjerači debljine vakuumskog filma, vakuumske pumpe i izvora iona.
Provjerite je li oprema netaknuta kako bi se osiguralo da može normalno raditi.
Priprema okoliša:
Osigurajte da je komora za oblaganje čvrsto zatvorena i nema curenja zraka.
Pripremite alate za čišćenje poput čišćenja tekućine i deionizirane vode, kao i mljevenje, dekontaminaciju i druge alate.
2. Prethodno liječenje premaza
Poliranje:
Fino polirajte optičku leću kako biste uklonili sitne udubljenja i nečistoće na površini.
Čišćenje:
Upotrijebite posebnu opremu za čišćenje i ultrazvučna oprema za čišćenje za čišćenje optičke leće kako biste osigurali da je površina čista.
Nakon čišćenja isperite deioniziranom vodom kako biste uklonili zaostalu tekućinu za čišćenje.
Vakuum grijanje:
Stavite očišćenu leću u vakuumsku komoru i zagrijte leću električnim grijanjem.
Plin adsorbiran na površini ispari se i pumpa kako bi se osigurala čistoća okoliša premaza.
3. Operacija premaza
Postavite parametre procesa:
Prema zahtjevima premaza, postavite odgovarajuće parametre procesa kao što su temperatura isparavanja, brzina isparavanja, stupanj vakuuma itd.
Proces isparavanja:
Dodajte materijal za isparavanje izvoru isparavanja, kao što je volfram -filament.
Uključite izvor isparavanja, obavite postupak isparavanja i otpustite aktivne atome.
Taloženje filma:
Koristite izvore energije kao što su izvori iona ili grede elektrona u vakuumskoj komori za odlaganje isparenih atoma ili molekula na površini leće.
Tijekom postupka taloženja, mjera debljine vakuumskog filma koristi se za praćenje debljine filma u stvarnom vremenu kako bi se osiguralo ispunjavanje unaprijed određenih zahtjeva.
Pomoćno grijanje:
Tijekom postupka taloženja, možda će biti potrebno koristiti pomoćnu tehnologiju grijanja za zagrijavanje površine supstrata do temperature samo-kondenzacije filma, što pogoduje kondenzaciji i učvršćivanju sloja filma.
4. tretman nakon presvlačenja
Hlađenje:
Kada se postupak premaza završi, isključite izvore energije kao što su izvor isparavanja i izvor iona.
Dopustite da se vakuumska komora prirodno ohladi na sobnoj temperaturi ili upotrijebite prisilno hlađenje da ubrza postupak hlađenja.
Izvadite obrazac:
Nakon što se tlak zraka u vakuumskoj komori vrati u normalan tlak, otvorite vrata vakuumske komore i izvadite obloženu leću.
Čišćenje i pregled:
Očistite obloženu leću kako biste uklonili nečistoće koje mogu ostati na površini.
Provjerite kvalitetu premaza, uključujući hoće li debljina filma, ujednačenost, optičke performanse itd. Ispuniti zahtjeve.
5. Održavanje i briga
Očistite reakcijsku komoru:
Redovito čistite unutrašnjost reakcijske komore i komponenti poput grijaće ploče za uklanjanje zaostalih materijala za isparavanje i nečistoće.
Zamjena dijelova:
Prema uporabi opreme, dijelove redovito zamijenite jakim trošenjem, kao što su izvor isparavanja, izvor iona itd.
Održavanje:
Izvršite sveobuhvatno održavanje opreme, uključujući provjeru da li napajanje, izvor plina, rashladni sustav itd. Radno rade.
Redovito kalibrirajte i uklanjaju opremu kako biste osigurali točnost i stabilnost premaza.
Navedeni su osnovni radni koraci stroj za optički premaz. Strojevi optičkog premaza različitih modela i specifikacija mogu imati različite specifične operacije. Stoga, u stvarnom postupku rada, priručnik za opremu treba strogo slijediti i treba primijetiti relevantne sigurnosne propise i operativne postupke.
