Stroj za optičko vakumiranje sastoji se od vakuumskog sustava, sustava za isparavanje, sustava za hlađenje i električnog sustava. Vakuumski sustav se sastoji od vakuumskog spremnika i ispušnog sustava. Vakuumski spremnik je glavno tijelo stroja za premazivanje, a proces premazivanja se dovršava u vakuumskom spremniku. Vakuumski spremnik i ispušni sustav povezani su spojnim ventilom. Kako bi se spriječio utjecaj molekula zraka na raspršene ione i poboljšala kvaliteta sloja filma, optičke komponente i izvor iona moraju se tijekom rada staviti u vakuumsko okruženje.
Ispušni sustav se uglavnom sastoji od mehaničke pumpe, Rootsove pumpe i vakuumske pumpe, koja je odgovorna za ispuštanje plina u vakuumskom spremniku i stvaranje vakuumskog okruženja u spremniku. Sustav isparavanja uglavnom se odnosi na uređaj za stvaranje filma. Postoje mnoge vrste uređaja za stvaranje filma u stroju za premazivanje, kao što je otporno grijanje, isparavanje elektronskim topom, magnetronsko raspršivanje, radiofrekvencijsko raspršivanje, ionsko oplata itd.
Strojevi za optičko vakuumsko premazivanje nanose tanke filmove na optičke komponente kroz vakuumsko raspršivanje, modificirajući refleksivnost i propusnost upadne svjetlosti. Kako bi se smanjili gubici refleksije na površini komponente i poboljšala kvaliteta slike, često se nanosi više slojeva tankih filmova. Nakon premazivanja optičke komponente, svjetlost se reflektira i propušta više puta na površini višeslojnog filma, tvoreći više snopova interferencije. Kontrolom debljine i indeksa loma slojeva filma mogu se postići različite raspodjele intenziteta. Ovo se načelo može koristiti za proizvodnju polarizirajućih reflektirajućih filmova, filmova koji dijele boje, filmova hladnog svjetla i filtera za smetnje kako bi se zadovoljile složenije potrebe.
